下载具恒温控制的光阻液调配槽的技术资料

文档序号:5105525

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本实用新型公开一种具恒温控制的光阻液调配槽,其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体,以及一伸置于该本体内的搅拌装置;所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元,一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值...
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