温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种冷却水的热量回收装置，所述冷却水从冷却塔经第一传输泵流入制冷机的冷却水入口，吸收制冷机的废热后从制冷机的冷却水出口流回到冷却塔，所述热量回收装置包括热交换器、储水罐和管道系统，所述热交换器上分别设有放热通路入口、放热通路...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。