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发光二极管激光剥离的方法技术
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下载发光二极管激光剥离的方法的技术资料
文档序号:5073633
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一种发光二极管激光剥离的方法,对于转换基板上形成磊晶层后,且将设有黏合金属层的支持基板与该磊晶层结合前,先将磊晶层蚀刻定义出一隔离道在每一个晶粒区周围,且相邻两个隔离道间设有未被蚀刻的一隔离区。通过该隔离区使每一次的激光照射只会对晶粒区周围...
该专利属于联胜光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联胜光电股份有限公司授权不得商用。
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