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本实用新型提出一种光罩承载架的承载杆，其圆周面具有至少一个第一凹槽，该第一凹槽的底部形成一第二凹槽，且第一凹槽适于夹持第一光罩，第二凹槽适于夹持第二光罩。本实用新型的承载杆上设计有新的承载凹槽结构，可适应两种不同厚度的光罩，并且把夹持这两种...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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