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本发明涉及用于在环境大气条件下在能够用于改变衬底表面的等离子体源的阳极与阴极之间引发电弧的方法和装置，所述阴极被布置为距所述阳极一定距离。本发明的目的在于降低引发等离子体电弧所需的消耗以及使得该引发过程更安全。本发明的特征在于，借助于平行于...
该专利属于弗劳恩霍弗应用技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍弗应用技术研究院授权不得商用。

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