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本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的...
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