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探针卡制造技术
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文档序号:5046386
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本发明的目的是提供一种探针卡,所述探针卡即使在老化测试中暴露于高温后,也具有在测试用电极和被测试电极之间的连接的良好稳定性,并且即使在重复使用探针卡后,也对于在测试用电极和导电部之间或在导电部和探针或被测试电极之间的接触位置的偏移较不敏感。...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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