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本发明提出一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法包括：先把弯曲结构金属连线的首末端接相同电位，然后用带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线部分，并通过作出电流变化曲线确定缺陷的种类和位置范围，再通过纵向检测并分析电流变化...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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