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本发明的实施方式提供一种用于产生可用在气相沉积处理系统中的气态化学前驱物的装置和方法。在一个实施方式中，该装置含有阀歧管组件，该阀歧管组件包括具有至少一个嵌入式电加热器的阀组件主体，贯穿该阀组件主体的入口通道，第一气动阀和第一手动阀，该第一...
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