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一种用于在升华器中保持固态前体的装置和方法，以使固态前体能蒸发用于使载气饱和。该装置可包括形成内部通道和外部通道的交替的盘状件或搁架，以及用于流体联接所述通道的在各盘状件之间的空间，以便形成穿过升华器的曲折迂回的流体流动路径，用来优化固体蒸...
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