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本发明提供了一种ＴｉＯ２－ＳｉＯ２玻璃，其中当用作ＥＵＶＬ用曝光工具的光学部件时，在使用高ＥＵＶ能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含ＴｉＯ２的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度...
该专利属于旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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