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一种钼酸盐添加剂及含其的多晶硅或单晶硅切割液制造技术
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下载一种钼酸盐添加剂及含其的多晶硅或单晶硅切割液的技术资料
文档序号:5029042
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本发明公开了一种钼酸盐添加剂,其为钼酸钠和油酸二乙醇酰胺硼酸酯按1∶5~1∶20的质量比组成的混合物。本发明还公开了一种多晶硅或单晶硅切割液,其包含下述质量百分比组分:聚乙二醇100-1000 30-90%,非离子表面活性剂0.5-5%,螯...
该专利属于上海洗霸科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海洗霸科技有限公司授权不得商用。
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