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一种老化测试系统，包括老化板和老化测试装置，所述老化板包括：第一接口件，适于与所述老化测试装置相连接，实现与所述老化测试装置之间信号的输入和／或输出；第二接口件，适于与待测器件相连接，实现与所述待测器件之间信号的输入和／或输出；其中，所述老...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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