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本发明提供一种使ＥＵＶＬ用光学部件的具有凹形缺陷的光学表面平滑的方法。本发明涉及一种使ＥＵＶＬ用光学部件的光学表面平滑的方法，其包括：用波长为２５０ｎｍ以下的准分子激光以０．５～２．０Ｊ／ｃｍ２的能量密度照射ＥＵＶ光刻（ＥＵＶＬ）用光学部件...
该专利属于旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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