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一种精密气体流量调节阀制造技术
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下载一种精密气体流量调节阀的技术资料
文档序号:5013036
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本实用新型公开了一种精密气体流量调节阀,其包含由伺服电机驱动的线性执行机构、支架、包括阀芯和气体进出接口的调节阀组件、控制盒组件,以及用于判断线性执行机构的调节杆或阀芯位置的位置测控机构,线性执行机构与调节阀组件相连接,控制盒组件与位置测控...
该专利属于上海齐耀动力技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海齐耀动力技术有限公司授权不得商用。
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