下载一种用于半导体激光二维阵列的长寿命微通道冷却热沉的技术资料

文档序号:5011286

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本实用新型涉及半导体激光器制备封装技术,特别是指一种长寿命微通道冷却热沉,属于激光技术应用领域。本微通道冷却热沉,由五片微通道薄片叠加而成,每片微通道薄片上都刻蚀有用于冷却水流过的通道,每片微通道薄片的厚度为0.5~3毫米。本实用新型中的微...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。

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