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本实用新型涉及一种一种在等离子体化学气相沉积设备中对太阳能电池逐步冷却的装置，该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在三个冷却箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上；所述的前面的冷却箱的温度设置为１５０℃...该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。
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