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本实用新型涉及一种磁控溅射生产线中的冷却装置，具体的说是一种在磁控溅射溅镀中对太阳能电池的冷却装置。该冷却装置包括并排设置的两个冷却箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个冷却箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上；所述的前面的冷却...
该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。

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