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本发明公开了一种用于定位梳状金属线结构中低阻抗微小缺陷的方法，包括以下步骤：步骤一，通过聚焦粒子束电子显微镜穿孔到接地端，用聚焦粒子束电子显微镜镀金属层将梳状线的一端实现接地；步骤二，将梳状线进行ｎ次等分，每次等分作一次电压衬度检查，而每一...
该专利属于上海华虹ＮＥＣ电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹ＮＥＣ电子有限公司授权不得商用。

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