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本发明揭示一种抵消因微应力的堆积而产生的翘曲效应的过程及设备，所述微应力的堆积因用长波长激光器机器加工部件而导致。在不使待机器加工的所述部件中的任何其它特征屈曲的情况下，使用用于固持所述部件的固定件沿由于机器加工所致的翘曲应力的相反方向对所...
该专利属于电子科学工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子科学工业有限公司授权不得商用。

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