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一种微机电系统（ＭＥＭＳ）传感器（５２）包括：基板（６２），与基板（６２）隔开的可移动元件（５８），在基板（６２）上形成的悬置锚（６６、６８、７０、７２），以及将可移动元件（５８）与悬置锚互连的顺从性部件（７４）。该ＭＥＭＳ传感器（５２）进...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。

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