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本实用新型涉及一种硅材料自动清洗机的步进进出料装置，包括进料机构以及出料机构，所述的进料机构以及出料机构均设有五个工位，进料机构的第一到第四工位为上料工位，进料机构的第五工位为机械手抓取工位，出料机构的第一工位为机械手放篮工位，出料机构的第...
该专利属于上海思恩电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海思恩电子技术有限公司授权不得商用。

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