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本发明涉及一种用于微柱的电子透镜，并且更为具体地涉及一种多极电子透镜，其中所述电子透镜包括两个或更多个电极层，每一电子层具有从电子束沿其通过的中心光轴延伸的狭缝，且所述两个电极层在电子光轴上对准，以使得所述狭缝相互错开。进一步，本发明涉及使...
该专利属于电子线技术院株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过电子线技术院株式会社授权不得商用。

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