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本发明适用于晶圆检测技术领域，提供了一种用来挑拣晶圆的机械手臂机构，所述的机械手臂机构包括：一旋转装置、一旋转臂和二升降装置，其中：所述旋转装置具有一可旋转的转轴；所述旋转臂设置于所述转轴端部，向所述旋转装置两侧延伸，所述旋转臂可受所述转轴...
该专利属于致茂电子（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过致茂电子（苏州）有限公司授权不得商用。

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