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基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置制造方法及图纸
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下载基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置的技术资料
文档序号:4945069
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基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置,涉及一种激光光束偏转装置。提供一种成本低、偏转精度高的基于光栅的高精度激光光束小角度偏转装置。设有激光器、可测量旋转角度的旋转台、光栅和光阑。光栅设于旋转台上且位于旋转台的直径垂直面上,光栅的光栅面背...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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