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本发明提供利用自组装嵌段共聚物沿一维阵列制造亚光刻、纳米级微结构的方法和由所述方法形成的膜和装置。...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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