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Ⅲ族金属氮化物单晶的制造方法技术
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文档序号:4898849
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一种III族金属氮化物单晶的制造方法,使用模板基板(10A),其具有:具备侧面(1b)以及一对主面(1a)的基板主体(1)、形成在主面(1a)上的III族金属氮化物单晶的基膜(2)。通过液相法,在基板主体1的至少一个主面(1a)上培养III...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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