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本发明的实施例涵盖处理期间用来支撑、定位及旋转基板的方法、设备和系统。本发明的实施例还包括控制处理腔室内基板与基板支撑件间的传热的方法。在一或多个处理步骤期间，例如快速热处理（ＲＴＰ）工艺、化学汽相沉积（ＣＶＤ）工艺、物理汽相沉积（ＰＶＤ）...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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