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流量控制装置制造方法及图纸
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下载流量控制装置的技术资料
文档序号:4892023
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本发明的流量控制装置包括:具有流量调整阀(2)的燃料气体的供给流路(11);配置在此供给流路(11)上的热式质量流量传感器(3);计算部(6),其基于热式传感器(3)的输出计算燃料气体的热量流量(Fc),此热量流量(Fc)由燃料气体的体积流...
该专利属于株式会社山武所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社山武授权不得商用。
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