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本发明提供一种表面形状测量装置，其使利用双波长移相干涉术的物体的表面形状测量装置的测量精度提高。其具备：低相干光源的光源（１０１）、透射波长不同的多个波长滤波器（１０３）、角度控制部（１０４ｃ）、解析部（１１４），并且，通过在实施双波长移相...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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