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本发明提供一种能够制造具有良好的光学特性的光学薄膜的光学薄膜沉积装置，以及制造成本低廉而且具有良好的光学特性的光学薄膜的制造方法。在真空容器（１０）内向基体（１４）沉积沉积物质的光学薄膜沉积装置具有：圆顶形的基体保持单元（１２），其设置在真...
该专利属于株式会社新柯隆所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社新柯隆授权不得商用。

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