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本发明提供一种微型泵装置，在该微型泵装置中，由气体生成材料生成的气体生成量的控制性好、进而微型泵的送液量的控制性也好。该微型泵装置具有微型泵（１０）和控制装置（５０）。微型泵（１０）具有：作为液体流路的微流路（２２）、接受光的照射而生成气体...
该专利属于积水化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。

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