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一种颗粒控制的方法，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；在任意四个连续特性值中有两个超过颗粒个数的允许上限值，另外两个特性值中至少一个位于堆积区，判定为颗粒超标。本发明能够及时的对晶圆表面及工艺环境进行清洁，提高了产品的质量。...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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