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测量物体二维或三维形状的光学仪器制造技术
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下载测量物体二维或三维形状的光学仪器的技术资料
文档序号:4777572
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本发明提供一种二维和三维光学测量仪器,所述仪器能交替地或有选择性地测量物体的二维尺寸和三维特征,并且不使用基准面的反射光而仅使用投射格栅来测量物体的三维特征,从而最大程度地减小测量误差。所述仪器包括:CCD照相机,所述CCD照相机装在探针外...
该专利属于英泰克普拉斯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英泰克普拉斯有限公司授权不得商用。
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