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本实用新型提供了一种硅烷气体转移装置，其特征在于，包括第一氮气瓶及第二氮气瓶，第一氮气瓶通过第一调压阀连接真空发生器，真空发生器的一端连接废气收集器，另一端通过手动阀管路连接硅烷气体接收瓶及硅烷气体泄漏瓶，第二氮气瓶通过第二调压阀接入硅烷气...该专利属于上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司;上海昕通半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司;上海昕通半导体设备有限公司授权不得商用。