下载分离式抽空阀的技术资料

文档序号:4762122

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本实用新型公开了一种分离式抽空阀,包括有固定安装于待抽真空设备上的阀座、筒形的阀体、带有阀柄的阀杆,阀座内滑动配合有阀芯,所述的阀体的上端与阀座通过卡箍密封连接,阀体的侧壁设置有与真空泵连接的接口端,阀杆穿过阀体的下端并伸入到阀体内,阀杆的...
该专利属于中国科学院等离子体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院等离子体物理研究所授权不得商用。

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