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单晶炉掺杂料斗制造技术
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文档序号:4759342
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本实用新型公开了一种单晶炉掺杂料斗,用于直拉式硅单晶炉掺杂、二次或多次投料。包括料筒、卸料立杆和斗瓣。卸料立杆自上而下穿过料筒内壁刚性支架上的导套,通向料筒底部。斗瓣与料筒由料筒底端外壁上铰臂相连接,斗瓣闭合时,斗瓣底部卡合在卸料立杆下端的...
该专利属于常州有则科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州有则科技有限公司授权不得商用。
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