温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多晶硅结晶质量检测装置，包括衬底，所述衬底斜上方设置有激光光源，所述激光光源的光路上设置有可形成第一光束和第二光束的分光器，所述第一光束的光路上设置有第一光强度检测器，所述第二光束于衬底的折射光路上设置有第二光强度检测器...
该专利属于济宁凯伦光伏材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济宁凯伦光伏材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。