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文档序号:46625006

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本发明提供涂覆装置。涂覆装置具备:涂覆部,该涂覆部具有收容涂覆材料的罐、排出涂覆材料的模头、构成从罐至模头的流路的供给通路、对供给通路赋予容积变化的容积变化装置、和对模头的内部空间的压力进行检测的压力传感器;以及控制部,该控制部对涂覆部的动...
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