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一种Mg掺杂GaN材料及其制备方法和应用技术
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文档序号:46620005
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本发明公开了一种Mg掺杂GaN材料及其制备方法和应用,属于GaN材料技术领域,其制备方法包括:在衬底上生长Mg掺杂GaN层,制得基体材料;于N2或N2/O2混合气氛条件下,将基体材料进行退火处理,退火的同时对基体材料施加交变电场;退火结束后...
该专利属于西南交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西南交通大学授权不得商用。
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