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本发明公开了一种用于盘形物品湿处理的装置，该装置包括：用于夹持和旋转盘形物品的旋转夹头，和用于朝向盘形物品第一表面的第一周边区域分配处理液的内缘喷嘴，其中，第一表面面向旋转夹头，并且第一周边区域被定义为第一表面具有内半径（ｒ１）的区域，该内...
该专利属于兰姆研究股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过兰姆研究股份公司授权不得商用。

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