下载一种基板的烘干装置及方法的技术资料

文档序号:46617637

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本发明实施例提供一种基板的烘干装置及方法,所述烘干装置包括:水平设置的机架;水平设于所述机架上的传送机构;至少一组设于所述传送机构上的温度检测探头;水平设于所述传送机构上方的上盖;水平设于所述传送机构与上盖之间的烘干机构;设于所述上盖上的高...
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