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一种柔性电容式压力传感器及制备方法技术
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文档序号:46617040
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本发明公开了一种柔性电容式压力传感器及制备方法,涉及柔性电容式压力传感器技术领域,包括壳体、设置在壳体一端的接线柱二、设置在壳体另一端的壳盖和设置在壳盖上的接线柱一,壳体内设有上封装层,上封装层一侧设有上电极层,上电极层一侧设有中间介电层,...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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