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本技术涉及一种硅片收料传送机构,包括相互配合的硅片下料接收装置(1)和硅片运输装置(2);硅片下料接收装置(1)包括一组独立的接料工位(3),每个接料工位(3)包括立板(31)、竖直滑轨(32)、滑动座(33)、升降底座(34)和水平输送线...该专利属于诺德凯(苏州)智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺德凯(苏州)智能装备有限公司授权不得商用。
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