下载一种应用于混合金属电镀的阳极装置和电镀装置的技术资料

文档序号:46611331

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本发明提供了一种应用于混合金属电镀的阳极装置和电镀装置,其中阳极装置包括中心阳极和多层阳极环,多层阳极环被多条径线划分为多个阳极段,阳极段按预设周期被归入不同阳极段组,每个阳极段组的工作模式被上层独立控制,各阳极段组的各个阳极段分别被分割为...
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