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本申请涉及硅基光学相控阵技术领域，具体地说，是涉及一种光学相控阵、制备方法及光束调控方法，该光学相控阵包括：SOI晶圆；波导结构，形成于SOI晶圆上；发射光栅阵列，设置于波导结构末端；可编程超表面结构，覆盖在发射光栅阵列上，可编程超表面结构...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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