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粉末供给系统(200)具备料斗(3a)、粉末补给机(21)、压力调整机构(22)以及开闭阀(23)。料斗(3a)储存向成膜装置供给的粉末。粉末补给机(21)与料斗(3a)连接，一边将与料斗(3a)内的压力差保持为一定，一边向料斗(3a)内补...
该专利属于拓自达电线株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过拓自达电线株式会社授权不得商用。

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