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本发明涉及红外光谱探测集成芯片领域，特别是一种超表面耦合动态滤波的红外可调谐光谱编码器，包含定镜、动镜和支撑层。动镜为折叠悬臂结构。动镜和定镜相互键合。支撑层位于动镜和定镜之间，支撑动镜和定镜，在两者之间形成悬空层，并完成动镜和定镜之间的电...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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