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本申请提供一种晶圆加工过程传感器数据异常检测方法及相关设备，方法包括：获取晶圆加工过程中的传感器数据，并对传感器数据进行数据预处理；将数据预处理后的传感器数据输入至预训练好的数据异常检测模型，得到数据异常检测模型输出的传感器数据的重构数据；...
该专利属于上海朋熙半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海朋熙半导体有限公司授权不得商用。

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