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本发明公开了一种基于边界刚度调制的高Q值谐振器，属于微机电系统技术领域，包括谐振器以及其两端连接的第一刚度调节机构和第二刚度调节机构，刚度调节机构通过结构设计以及静电修调实现弯曲，扭转以及拉伸的刚度初步调节，通过静电实现刚度精细修调；刚度调...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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